种子激活改性设备中射频电源的应用研究

总结

通过与直流电源、低频电源和微波电源应用对比分析，低气压辉光放电等离子体采用射频电源优势明显。通过射频电源应用是悬浮电极和屏蔽电场二项技术的应用，将扩展射频电源在各类等离子体激活改性设备中的应用。

参考文献

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